litaba

Theknoloji ea ho itšeha ka terata ea Diamond e boetse e tsejoa e le theknoloji ea ho kopanya abrasive.Ke tšebeliso ea electroplating kapa resin bonding mokhoa oa taemane abrasive kopantseng holim'a terata tšepe, terata taemane ka ho toba sebetsa holim'a silicon molamu kapa silicon ingot ho hlahisa sila, ho finyella phello ea ho itšeha.Ho itšeha ka terata ea daemane ho na le litšoaneleho tsa lebelo la ho itšeha ka potlako, ho nepahala ho holimo le tahlehelo e tlase ea thepa.

Hona joale, 'maraka o le mong oa kristale bakeng sa sephaephe sa silicon sa terata ea litaemane se amohetsoe ka botlalo, empa se boetse se kopane le ts'ebetsong ea ts'ebetso, eo har'a eona velvet e tšoeu e leng bothata bo atileng haholo.Ka lebaka la sena, pampiri ena e shebana le mokhoa oa ho thibela terata ea taemane ho itšeha monocrystalline silicon wafer velvet white problem.

Mokhoa oa ho hloekisa terata ea daemane e sehang sephaephe sa silicon ea monocrystalline ke ho tlosa sephaphatha sa silicon se sehiloeng ke sesebelisoa sa mochini sa terata ho tloha poleiting ea resin, ho tlosa lesela la rabara, le ho hloekisa sephaphatha sa silicon.Lisebelisoa tsa ho hloekisa haholo-holo ke mochini oa ho hloekisa pele (mochini oa degumming) le mochini oa ho hloekisa.Mokhoa o ka sehloohong oa ho hloekisa mochine oa ho hloekisa pele ke: ho fepa-spray-spray-ultrasonic cleaning-degumming-clean water rinsing-underfeeding.Mokhoa o ka sehloohong oa ho hloekisa mochine oa ho hloekisa ke: ho fepa-metsi a hloekileng ho hlatsoa-metsi a hloekileng-ho hlatsoa-alkali ho hlatsoa-alkali ho hlatsoa-ho hlatsoa-metsi a hloekileng-a metsi a hloekileng a rinsing-pre-dehydration (ho phahamisa butle) -drying-feeding.

Molao-motheo oa ho etsa velvet ea kristale e le 'ngoe

Monocrystalline silicon wafer ke tšobotsi ea anisotropic corrosion ea monocrystalline silicon wafer.The reaction principle ke tse latelang chemical reaction equation:

Si + 2NaOH + H2O = Na2SiO3 + 2H2↑

Ha e le hantle, mokhoa oa ho etsa li-suede ke: Tharollo ea NaOH bakeng sa tekanyo e fapaneng ea kutu ea bokaholimo bo fapaneng ba kristale, (100) lebelo la kutu ho feta (111), kahoo (100) ho sephaphatha sa silicon sa monocrystalline ka mor'a ho bola ha anisotropic, se ileng sa qetella se entsoe holim'a metsi. (111) khoune e mahlakore a mane, e leng sebopeho sa “phiramide” (joalokaha ho bontšitsoe setšoantšong sa 1).Ka mor'a hore sebopeho se thehoe, ha leseli le etsahala letsoapong la piramite ka Angle e itseng, leseli le tla bontšoa letsoapong ho Angle e 'ngoe, ho etsa monyetla oa bobeli kapa ho feta, kahoo ho fokotsa ho bonahatsa holim'a sephaphatha sa silicon. , ke hore, phello ea leraba la leseli (bona setšoantšo sa 2).Ho ntlafala ha boholo le ho tšoana ha sebopeho sa "piramite", ho hlakile haholoanyane phello ea leraba, 'me e theolela holimo holimo ho emitrate ea sephaphatha sa silicon.

Setšoantšo sa 1: Micromorphology ea monocrystalline silicon wafer ka mor'a tlhahiso ea alkali

Setšoantšo sa 2: Molao-motheo oa leraba la leseli la sebopeho sa "piramite".

Tlhahlobo ea bosoeu ba kristale bo le bong

Ka ho hlahloba microscope ea elektronike holim'a lesela le lesoeu la silicon, ho ile ha fumanoa hore piramide ea microstructure ea lesela le lesoeu sebakeng seo ha e le hantle e ne e sa thehoa, 'me bokaholimo bo ne bo bonahala bo e-na le masala a "waxy", ha sebopeho sa piramide sa suede. sebakeng se tšoeu sa sephaphatha sa silicon se tšoanang se ile sa thehoa hantle (sheba setšoantšo sa 3).Haeba ho na le masala holim'a sephaphatha sa silicon sa monocrystalline, bokaholimo bo tla ba le boholo ba sebopeho sa "piramite" le tlhahiso e ts'oanang, 'me phello ea sebaka se tloaelehileng ha e lekane, e leng se etsang hore ho be le masala a holimo a velvet a phahame ho feta sebaka se tloaelehileng. sebaka se nang le ponahatso e phahameng ha e bapisoa le sebaka se tloaelehileng se bonoang se bonahalang se le sesoeu.Joalokaha ho ka bonoa ho sebopeho sa kabo ea sebaka se tšoeu, ha se sebopeho se tloaelehileng kapa se tloaelehileng sebakeng se seholo, empa ke libakeng tsa libaka feela.E lokela ho ba hore lintho tse silafatsang sebakeng se ka holim'a sephaphatha sa silicon ha li e-s'o hloekisoe, kapa boemo ba holim'a sephaphatha sa silicon bo bakoa ke tšilafalo ea bobeli.

Setšoantšo sa 3: Papiso ea liphapano tsa tikoloho ea microstructure ho li-wafers tsa silicon tse tšoeu tsa velvet

Bokaholimo ba terata ea daemane e sehang silicon e boreleli haholoanyane mme tšenyo e nyane (joalo ka ha ho bonts'itsoe ho Setšoantšo sa 4).Ha ho bapisoa le sephaphatha sa seretse sa silicon, lebelo la karabelo la alkali le terata ea daemane e sehang holim'a silicon e lieha ho feta ea seretse se sehang sephaphatha sa silicon, kahoo tšusumetso ea masala a holim'a phello ea velvet e hlakile haholoanyane.

Setšoantšo sa 4: A

Mohloli o ka sehloohong oa mesaletsa ea terata ea silicon e sehiloeng holim'a sefahleho

(1) Coolant: likarolo tsa mantlha tsa sepholi sa terata ea daemane ke surfactant, dispersant, defamagent le metsi le likarolo tse ling.Mokelikeli o sehang o nang le ts'ebetso e ntle haholo o na le ho emisa hantle, ho hasana le bokhoni bo bonolo ba ho hloekisa.Hangata li-surfactants li na le thepa e ntle ea hydrophilic, eo ho leng bonolo ho e hloekisa ts'ebetsong ea ho hloekisa ka silicon.Ho tsosoa ho tsoelang pele le ho potoloha ha li-additives tsena ka metsing ho tla hlahisa foam e ngata, e leng se tla fella ka ho fokotseha ha phallo ea pholiso, e amang ts'ebetso ea ho pholisa, le mathata a tebileng a foam esita le a foam, a tla ama ts'ebeliso e tebileng.Ka hona, ntho e pholileng hangata e sebelisoa hammoho le ntho e tlosang matheba.Bakeng sa ho netefatsa ts'ebetso ea defoaming, silicone ea setso le polyether hangata ke hydrophilic e futsanehileng.The solvent ka metsing ho bonolo haholo ho adsorb le ho lula holim'a sephaphatha silicon ho hloekisa ka mor'a moo, ho fella ka bothata ba letheba tšoeu.'Me ha e lumellane hantle le likarolo tse ka sehloohong tsa se pholileng, ka hona, e tlameha ho etsoa likarolo tse peli, likarolo tse ka sehloohong le lisebelisoa tsa defoaming li kenyelelitsoe metsing, nakong ea ts'ebeliso, ho ea ka boemo ba foam, ha e khone ho laola ka bongata. tšebeliso le litekanyetso tsa li-antifoam agents, li ka lumella habonolo ho feta tekano ea li-anoaming agents, E lebisang ho eketseha ha masala a silicon oafer holim'a metsi, ho boetse ho thata haholoanyane ho sebetsa, Leha ho le joalo, ka lebaka la theko e tlaase ea lisebelisoa tse tala le moemeli oa defoaming e tala. thepa, Ka hona, boholo ba se pholileng sa lapeng kaofela se sebelisa mokhoa ona oa foromo;Pholiso e 'ngoe e sebelisa sesebelisoa se secha sa defoaming, E ka tsamaellana hantle le likarolo tsa mantlha, Ha ho tlatsetso, E khona ho laola palo ea eona ka nepo le ka bongata, E khona ho thibela ts'ebeliso e feteletseng, Boikoetliso le bona bo bonolo haholo ho bo etsa, Ka ts'ebetso e nepahetseng ea ho hloekisa, masala a ka laoloa ho ea boemong bo tlaase haholo, Japane 'me bahlahisi ba seng bakae ba malapeng ba amohela mokhoa ona oa foromo, Leha ho le joalo, ka lebaka la litšenyehelo tse phahameng tsa thepa e tala, molemo oa eona oa theko ha o totobetse.

(2) Mofuta oa sekhomaretsi le resin: mokhahlelong oa morao-rao oa ts'ebetso ea ho seha terata ea daemane, Sephaphatha sa silicon se haufi le pheletso e kenang se se se entsoe esale pele, Sephaephe sa silicon se pheletsong ea kantle ha se so khaotsoe, Taemane ea pele e sehiloeng. terata e se e qalile ho khaola lera la rabara le poleiti ea resin, Kaha silicon rod glue le boto ea resin ka bobeli ke lihlahisoa tsa epoxy resin, ntlha ea eona ea ho nolofatsa e pakeng tsa 55 le 95 ℃, Haeba ntlha e nolofatsang ea lera la rabara kapa resin. poleiti e tlase, e ka futhumatsa habonolo nakong ea ts'ebetso ea ho seha 'me ea etsa hore e be bonolo ebe e qhibiliha, E khomaretse terata ea tšepe le bokaholimo ba silicon, E etsa hore bokhoni ba ho seha ba mohala oa daemane bo fokotsehe, Kapa li-wafers tsa silicon lia amoheloa. e silafalitsoeng ka resin, Hang ha e khomaretsoe, ho thata haholo ho e hlatsoa, ​​Tšilafalo e joalo hangata e etsahala haufi le moeli oa sephaphatha sa silicon.

(3) phofo ea silicon: ts'ebetsong ea ho khaola terata ea daemane e tla hlahisa phofo e ngata ea silicon, ka ho itšeha, seretse se phodileng se tla ba se phahameng le ho feta, ha phofo e le khōlō ka ho lekaneng, e tla khomarela holim'a silicon, le ho seha terata ea daemane ea boholo ba phofo ea silicon le boholo ba eona ho etsa hore ho be bonolo ho adsorption holim'a silicon, ho etsa hore ho be thata ho hloekisa.Ka hona, etsa bonnete ba ho nchafatsoa le boleng ba sepholisa le ho fokotsa bokahare ba phofo ka har'a sepholisa.

(4) moemeli oa ho hloekisa: ts'ebeliso ea hona joale ea baetsi ba terata ea litaemane haholo-holo ba sebelisa ho seha seretse ka nako e le 'ngoe, haholo-holo ba sebelisa seretse ho seha prewashing, mokhoa oa ho hloekisa le ho hloekisa, joalo-joalo, theknoloji e le 'ngoe ea terata ea daemane ho tloha mochine oa ho itšeha, sete e feletseng ea line, pholileng le seretse seha na le phapang e khōlō, kahoo e tsamaellanang hloekisa tshebetso, ho hloekisa moemeli litekanyetso li behoa, foromo, joalo-joalo e lokela ho ba bakeng sa taemane terata seha etsa phetoho e tšoanang.Moemeli oa ho hloekisa ke karolo ea bohlokoa, mochini o hloekisang oa pele oa ho hloekisa, alkalinity ha e loketse ho hloekisa terata ea silicon ea terata ea daemane, e lokela ho ba holim'a sephaphatha sa silicon ea terata ea daemane, sebopeho le masala a holim'a mochini o hloekisang, 'me u nke le mokhoa oa ho hloekisa.Joalokaha ho boletsoe ka holimo, ho hlophisoa ha moemeli oa defoaming ha ho hlokahale ka ho khaola seretse.

(5) Metsi: ho seha terata ea daemane, ho hlatsoa pele le ho hloekisa metsi a phallang ho na le litšila, e ka ba adsorbed ka holim'a sephaphatha sa silicon.

Fokotsa bothata ba ho etsa moriri oa velvet o mosoeu ho hlaha litlhahiso

(1) Ho sebelisa se pholisang ka khaso e ntle, 'me se pholisang se hlokeha ho sebelisa sekoaelo sa masala a tlase ho fokotsa masala a likaroloana tse pholisang holim'a sephaphatha sa silicon;

(2) Sebelisa sekhomaretsi se loketseng le poleiti ea resin ho fokotsa tšilafalo ea sephaphatha sa silicon;

(3) Sepholisa se hlapolotsoe ka metsi a hloekileng ho netefatsa hore ha ho na litšila tse setseng habonolo metsing a sebelisitsoeng;

(4) Bakeng sa bokaholimo ba terata ea daemane e sehiloeng ka silicon, sebelisa ts'ebetso le ts'ebetso ea ho hloekisa e loketseng ho hloekisa moemeli;

(5) Sebelisa mokhoa oa ho hlaphoheloa oa daemane oa marang-rang ho fokotsa litaba tsa phofo ea silicon nakong ea ho itšeha, e le ho laola ka katleho masala a phofo ea silicon holim'a silicon oafer holim'a sephaphatha.Ka nako e ts'oanang, e ka boela ea eketsa ntlafatso ea mocheso oa metsi, phallo le nako ea ho hlatsoa pele, ho etsa bonnete ba hore phofo ea silicon e hlatsuoa ka nako.

(6) Hang ha sephaphatha sa silicon se behiloe tafoleng ea ho hloekisa, se tlameha ho phekoloa hang-hang, 'me se boloke sephaphatha sa silicon se le metsi nakong eohle ea ho hloekisa.

(7) Sephaphatha sa silicon se boloka bokaholimo bo le metsi nakong ea ha ho etsoa degumming, 'me ha se khone ho omella ka tlhaho.8

9

(10) Ha ho buuoa ka [2], qetello ea betri e sebelisa hydrogen peroxide H2O2 + alkali NaOH ho hloekisa mokhoa ho ea ka karolelano ea molumo oa 1:26 (3% NaOH tharollo), e ka fokotsang ho etsahala ha bothata ka katleho.Molao-motheo oa eona o tšoana le tharollo ea SC1 (eo hangata e tsejoang e le mokelikeli 1) ea semiconductor silicon wafer.Mokhoa oa eona o ka sehloohong: filimi ea oxidation holim'a silicon wafer surface e thehoa ke oxidation ea H2O2, e senyehileng ke NaOH, 'me oxidation le corrosion li etsahala khafetsa.Ka hona, likaroloana tse kopantsoeng le phofo ea silicon, resin, tšepe, joalo-joalo) le tsona li oela ka har'a mokelikeli o hloekisang ka lera la kutu;ka lebaka la oxidation ea H2O2, ntho ea tlhaho e holim'a sephaphatha e senyeha ho ba CO2, H2O ebe e tlosoa.Ts'ebetso ena ea ho hloekisa e bile baetsi ba liphaephe tsa silicon ba sebelisang mokhoa ona ho hloekisoa ha terata ea daemane e sehang monocrystalline silicon sephaephe, sephaphatha sa silicon lapeng le Taiwan le bahlahisi ba bang ba betri ba sebelisa litletlebo tsa bothata ba velvet bosoeu.Hape ho na le bahlahisi ba betri ba sebelisitseng mokhoa o tšoanang oa ho hloekisa velvet pele, hape o laola ka katleho ponahalo ea bosoeu ba velvet.Ho ka bonoa hore ts'ebetso ena ea ho hloekisa e eketsoa ts'ebetsong ea ho hloekisa silicon ho tlosa masala a silicon oafer e le ho rarolla bothata ba moriri o mosoeu qetellong ea betri.

sephetho

Hajoale, ho itšeha ka terata ea daemane ho fetohile theknoloji e ka sehloohong ea ts'ebetso lefapheng la ho itšeha ha kristale e le 'ngoe, empa molemong oa ho ntšetsa pele bothata ba ho etsa bosoeu ba velvet e se e tšoenya silicon le bahlahisi ba betri, e lebisang ho baetsi ba betri ho silicon ea terata ea taemane. sephaphatha se na le khanyetso e itseng.Ka tlhahlobo ea papiso ea sebaka se tšoeu, e bakoa haholo-holo ke masalla a holim'a sephaphatha sa silicon.E le ho thibela bothata ba silicon oafer ka seleng, pampiri ena e hlahloba mehloli e ka bang teng ea tšilafalo ea holim'a metsi a silicon, hammoho le litlhahiso le mehato ea ntlafatso ea tlhahiso.Ho ea ka palo, sebaka le sebōpeho sa matheba a masoeu, lisosa li ka hlahlojoa le ho ntlafatsoa.Ho kgothaletswa ka ho khetheha ho sebelisa hydrogen peroxide + mokhoa oa ho hloekisa alkali.Boiphihlelo bo atlehileng bo ipakile hore bo ka thibela ka katleho bothata ba terata ea daemane ho seha silicon wafer ho etsa bosoeu ba velvet, bakeng sa ho bua ka indasteri e akaretsang le bahlahisi.