litaba

Theknoloji ea ho seha terata ea taemane e boetse e tsejoa e le theknoloji ea ho seha ka ho kopanya le ho kopanya. Ke tšebeliso ea mokhoa oa ho kopanya ka motlakase kapa oa ho kopanya resin oa ho kopanya taemane ka ho kopanya holim'a terata ea tšepe, terata ea taemane e sebetsang ka kotloloho holim'a molamu oa silicon kapa ingot ea silicon ho hlahisa ho sila, ho fihlela phello ea ho seha. Ho seha terata ea taemane ho na le litšobotsi tsa lebelo le potlakileng la ho seha, ho nepahala ho phahameng ha ho seha le tahlehelo e tlase ea thepa.

Hona jwale, mmaraka wa kristale e le nngwe bakeng sa wafer ya silicon e sehang ka terata ya taemane o amohetswe ka botlalo, empa o boetse o kopane le ona nakong ya ho phahamiswa, moo bothata bo atileng haholo ke velvet white. Ka lebaka lena, pampiri ena e shebane le mokhoa wa ho thibela bothata ba velvet white e sehang ka terata ya taemane.

Mokhoa oa ho hloekisa oa ho seha terata ea daemane monocrystalline silicon wafer ke ho tlosa wafer ea silicon e khaotsoeng ke sesebelisoa sa mochini oa ho sakha terata poleiting ea resin, ho tlosa lesela la rabara, le ho hloekisa wafer ea silicon. Lisebelisoa tsa ho hloekisa ke mochini oa ho hloekisa pele ho nako (mochini oa ho tlosa gumming) le mochini oa ho hloekisa. Mokhoa o ka sehloohong oa ho hloekisa oa mochini oa ho hloekisa pele ho nako ke: ho fepa-spray-spray-ultrasonic ho hloekisa-degumming-clean water rinsing-supply. Mokhoa o ka sehloohong oa ho hloekisa oa mochini oa ho hloekisa ke: ho fepa-ho hlatsoa ka metsi a hloekileng-ho hlatsoa ka metsi a hloekileng-ho hlatsoa ka alkali-ho hlatsoa ka alkali-ho hlatsoa ka metsi a hloekileng-ho hlatsoa ka metsi a hloekileng-ho hlatsoa ka metsi a hloekileng-ho hloekisa pele ho omella (ho phahamisa butle) -ho omisa-ho fepa.

Molao-motheo oa ho etsa velvet ea kristale e le 'ngoe

Wafer ea silicon e nang le monocrystalline ke tšobotsi ea ho bola ha anisotropic ha wafer ea silicon e nang le monocrystalline. Molao-motheo oa karabelo ke equation e latelang ea karabelo ea lik'hemik'hale:

Si + 2NaOH + H2O = Na2SiO3 + 2H2↑

Ha e le hantle, ts'ebetso ea ho thehoa ha suede ke: Tharollo ea NaOH bakeng sa sekhahla se fapaneng sa ho bola ha bokaholimo bo fapaneng ba kristale, (100) lebelo la ho bola ha bokaholimo ho feta (111), kahoo (100) ho wafer ea silicon e monocrystalline kamora ho bola ha anisotropic, qetellong e thehiloe holim'a (111) khoune e mahlakore a mane, e leng sebopeho sa "piramide" (joalokaha ho bontšitsoe setšoantšong sa 1). Kamora hore sebopeho se thehoe, ha leseli le hlahella leralla la piramide ka Angle e itseng, leseli le tla bonahatsoa leralla ka Angle e 'ngoe, le etse monya oa bobeli kapa ho feta, kahoo le fokotsa ho reflectivity holim'a wafer ea silicon, ke hore, phello ea leraba la leseli (sheba Setšoantšo sa 2). Ha boholo le ho tšoana ha sebopeho sa "piramide" ho le betere, phello ea leraba e totobala haholoanyane, 'me emitrate ea bokaholimo ba wafer ea silicon e theoha.

Setšoantšo sa 1: Micromorphology ea monocrystalline silicon wafer kamora tlhahiso ea alkali

Setšoantšo sa 2: Molao-motheo oa leraba la leseli la sebopeho sa "piramide"

Tlhahlobo ea ho soeufatsa ha kristale e le 'ngoe

Ka ho hlahloba microscope ea elektrone holim'a wafer e tšoeu ea silicon, ho ile ha fumanoa hore sebopeho sa piramite sa wafer e tšoeu sebakeng seo ha sea ka sa thehoa, 'me bokaholimo bo ne bo bonahala bo e-na le lera la masala a "boea", ha sebopeho sa piramite sa suede sebakeng se sesoeu sa wafer e tšoanang ea silicon se ile sa thehoa hamolemo (sheba Setšoantšo sa 3). Haeba ho na le masala holim'a wafer ea silicon e monocrystalline, bokaholimo bo tla ba le sebaka se setseng sa boholo ba sebopeho sa "piramite" le ho hlahisoa ha ho tšoana 'me phello ea sebaka se tloaelehileng ha ea lekana, e leng se etsang hore reflectivity ea bokaholimo ba velvet e setseng e be holimo ho feta sebaka se tloaelehileng, sebaka se nang le reflectivity e phahameng ha se bapisoa le sebaka se tloaelehileng ponong e bonahatsoang e le tšoeu. Joalokaha ho ka bonoa ho tsoa sebopehong sa kabo ea sebaka se sesoeu, ha se sebopeho se tloaelehileng kapa se tloaelehileng sebakeng se seholo, empa ke libakeng tsa lehae feela. Ho lokela hore ebe litšila tsa lehae holim'a wafer ea silicon ha lia hloekisoa, kapa boemo ba bokaholimo ba wafer ea silicon bo bakoa ke tšilafalo ea bobeli.

Setšoantšo sa 3: Papiso ea liphapang tsa sebopeho sa microstructure sa libaka ho li-wafer tse tšoeu tsa silika tse velvet

Bokaholimo ba wafer ea silicon e sehang ka terata ea daemane bo boreleli haholoanyane 'me tšenyo e nyane (joalokaha ho bontšitsoe Setšoantšong sa 4). Ha ho bapisoa le wafer ea silicon e sehiloeng ka terata ea daemane, lebelo la karabelo ea bokaholimo ba wafer ea silicon e sehang ka terata ea daemane le lieha ho feta la wafer ea silicon e sehang ka terata ea daemane, kahoo tšusumetso ea masala a bokaholimo phellong ea velvet e totobetse haholoanyane.

Setšoantšo sa 4: (A) Micrograph ea bokaholimo ba seretse se khaotsoeng sa silicon wafer (B) micrograph ea bokaholimo ba silicon wafer ea terata ea daemane e khaotsoeng

Mohloli o ka sehloohong o setseng oa bokaholimo ba silicon wafer bo khaotsoeng ka terata ea taemane

(1) Sefolisi: dikarolo tse ka sehloohong tsa sefolisi sa terata ya daemane ke sefolisi sa surfactant, seqhalanyang, se silafatsang le metsi le dikarolo tse ding. Mokelikeli o sehang o nang le tshebetso e ntle o na le ho emisoa ho hotle, ho hasana le bokgoni bo bonolo ba ho hlwekisa. Hangata di-surfactants di na le thepa e betere ya ho phela ka metsi, e leng ntho e bonolo ho e hlwekisa nakong ya ho hlwekisa ha silicon wafer. Ho hlohlelletsa le ho potoloha ha di-additi tsena ka metsing ho tla hlahisa palo e kgolo ya foam, e leng se fellang ka phokotseho ya phallo ya sefolisi, e amang tshebetso ya ho phodisa, le mathata a tebileng a foam esita le a ho phalla ha foam, e leng se tla ama tshebediso ka botebo. Ka hona, sefolisi hangata se sebediswa le sehlahiswa sa ho fodisa. E le ho netefatsa tshebetso ya ho fodisa, silicone ya setso le polyether hangata ha di phele ka metsi hantle. Sehlahiswa se ka metsing se bonolo haholo ho se monya mme se dula hodima wafer ya silicon ho hlwekisong e latelang, e leng se fellang ka bothata ba letheba le lesweu. 'Me ha e tsamaisane hantle le likarolo tse kholo tsa setsibatsi, Ka hona, e tlameha ho etsoa likarolo tse peli, Likarolo tse ka sehloohong le li-agent tse hloekisang li ile tsa eketsoa ka metsing, Ts'ebetsong ea ts'ebeliso, ho latela boemo ba foam, Ha e khone ho laola tšebeliso le tekanyo ea li-agent tse thibelang foam ka bongata, E ka lumella habonolo ho feta tekano ha li-agent tse hloekisang, E lebisa keketsehong ea masala a bokaholimo ba silicon wafer, Hape ho thata ho e sebelisa, Leha ho le joalo, ka lebaka la theko e tlase ea lisebelisoa tse tala le lisebelisoa tse tala tsa setsibatsi, Ka hona, boholo ba setsibatsi sa lapeng kaofela se sebelisa sistimi ena ea foromo; Setsibatsi se seng se sebelisa setsibatsi se secha sa setsibatsi, Se ka tsamaisana hantle le likarolo tse ka sehloohong, Ha ho na litlatsetso, Se ka laola bongata ba sona ka katleho le ka bongata, Se ka thibela tšebeliso e feteletseng ka katleho, Boikoetliso le bona bo bonolo haholo ho bo etsa, Ka ts'ebetso e nepahetseng ea ho hloekisa, Masalatsi a sona a ka laoloa ho isa maemong a tlase haholo, Japane le bahlahisi ba 'maloa ba malapeng ba amohela sistimi ena ea foromo, Leha ho le joalo, ka lebaka la litšenyehelo tsa eona tse phahameng tsa thepa e tala, Molemo oa eona oa theko ha o bonahale.

(2) Mofuta oa sekhomaretsi le resin: mohatong oa morao oa ts'ebetso ea ho seha terata ea daemane, Wafer ea silicon e haufi le pheletso e kenang e se e sehiloe esale pele, Wafer ea silicon pheletsong ea ho tsoa ha e so sehiloe, Terata ea daemane e sehiloeng pele e qalile ho seha ho ea lera la rabara le poleiting ea resin, Kaha sekhomaretsi sa rod ea silicon le boto ea resin ka bobeli ke lihlahisoa tsa resin ea epoxy, Ntlha ea eona ea ho nolofatsa ha e le hantle e pakeng tsa 55 le 95℃, Haeba ntlha ea ho nolofatsa ea lera la rabara kapa poleiti ea resin e le tlase, e ka chesa habonolo nakong ea ts'ebetso ea ho seha 'me ea etsa hore e be bonolo le ho qhibiliha, E khomaretsoe terata ea tšepe le bokaholimo ba wafer ea silicon, E baka hore bokhoni ba ho seha ba mola oa daemane bo fokotsehe, Kapa li-wafer tsa silicon li amoheloa 'me li daelitsoe ka resin, Hang ha li khomaretsoe, ho thata haholo ho li hlatsoa, ​​Tšilafalo e joalo e etsahala haholo haufi le moeli oa wafer ea silicon.

(3) phofo ea silicon: ts'ebetsong ea ho seha terata ea daemane e tla hlahisa phofo e ngata ea silicon, ka ho seha, tekanyo ea phofo ea seretse e pholileng e tla ba holimo le ho feta, ha phofo e le kholo ka ho lekaneng, e tla khomarela bokaholimo ba silicon, 'me ho seha terata ea daemane ea boholo le boholo ba phofo ea silicon ho etsa hore ho be bonolo ho e monya holim'a bokaholimo ba silicon, ho etsa hore ho be thata ho e hloekisa. Ka hona, etsa bonnete ba hore sesebelisoa se ntlafatsoa le boleng ba sona 'me u fokotse tekanyo ea phofo ka har'a sesebelisoa se pholileng.

(4) sesebelisoa sa ho hloekisa: Tšebeliso ea hona joale ea bahlahisi ba ho seha terata ea taemane, haholo-holo ba sebelisa ho seha terata ka nako e le 'ngoe, haholo-holo ba sebelisa ho hlatsoa pele ho seha terata, mokhoa oa ho hloekisa le sesebelisoa sa ho hloekisa, jj., theknoloji ea ho seha terata ea taemane e le 'ngoe ho tsoa mochineng oa ho seha, e etsa sete e felletseng ea mola, ho seha ha coolant le seretse ho na le phapang e kholo, kahoo mokhoa o tsamaellanang oa ho hloekisa, tekanyo ea sesebelisoa sa ho hloekisa, foromo, jj. e lokela ho ba bakeng sa ho seha terata ea taemane, ho etsa phetoho e tsamaellanang. Sesebelisoa sa ho hloekisa ke karolo ea bohlokoa, sesebelisoa sa pele sa ho hloekisa se entsoeng ka mokhoa oa surfactant, alkalinity ha e loketse ho hloekisa sesebelisoa sa silicon sa ho seha terata ea taemane, e lokela ho ba bakeng sa bokaholimo ba sesebelisoa sa silicon sa terata ea taemane, sebopeho le masala a bokaholimo ba sesebelisoa sa ho hloekisa se reretsoeng, 'me se nke le mokhoa oa ho hloekisa. Joalokaha ho boletsoe ka holimo, sebopeho sa sesebelisoa sa ho tlosa litšila ha se hlokahale ha ho sehoa terata.

(5) Metsi: ho seha terata ya daemane, ho hlatswa pele le ho hlwekisa metsi a phallang a na le ditshila, a ka kgomaretswa hodima wafer ya silicon.

Fokotsa bothata ba ho etsa hore moriri oa velvet o be mosoeu litlhahiso

(1) Ho sebedisa sephodisa ka ho hasana hantle, mme sephodisa ho hlokahala ho sebedisa sehlahiswa se fokotsang masalela a tlase ho fokotsa masalla a dikarolo tsa sephodisa hodima wafer ya silicon;

(2) Sebelisa sekhomaretsi se loketseng le poleiti ea resin ho fokotsa tšilafalo ea wafer ea silicon;

(3) Sehatsetsi se hlapolotsoe ka metsi a hloekileng ho netefatsa hore ha ho na litšila tse setseng habonolo metsing a sebelisitsoeng;

(4) Bakeng sa bokaholimo ba wafer ea silicon e khaotsoeng ka terata ea daemane, sebelisa sesebelisoa sa ho hloekisa se loketseng haholoanyane;

(5) Sebelisa sistimi ea ho hlaphoheloa ea daemane ea coolant inthaneteng ho fokotsa bongata ba phofo ea silicon ts'ebetsong ea ho seha, e le ho laola ka katleho masala a phofo ea silicon holim'a wafer ea silicon ea wafer. Ka nako e ts'oanang, e ka boela ea eketsa ntlafatso ea mocheso oa metsi, phallo le nako nakong ea ho hlatsoa pele, ho netefatsa hore phofo ea silicon e hlatsuoa ka nako.

(6) Hang ha wafer ea silicon e behiloe tafoleng ea ho hloekisa, e lokela ho phekoloa hang-hang, 'me e boloke wafer ea silicon e le metsi nakong eohle ea ts'ebetso ea ho hloekisa.

(7) Wafer ea silicon e boloka bokaholimo bo le metsi nakong ea ho ntša gumming, 'me e ke ke ea oma ka tlhaho. (8) Ts'ebetsong ea ho hloekisa wafer ea silicon, nako e pepesehang moeeng e ka fokotsoa ka hohle kamoo ho ka khonehang ho thibela tlhahiso ea lipalesa holim'a wafer ea silicon.

(9) Basebetsi ba hloekisang ha baa lokela ho ama bokaholimo ba wafer ea silicon ka kotloloho nakong eohle ea ts'ebetso ea ho hloekisa, 'me ba tlameha ho apara liatlana tsa rabara, e le hore ba se ke ba hlahisa khatiso ea menoana.

(10) Ho latela [2], pheletso ea betri e sebelisa mokhoa oa ho hloekisa oa hydrogen peroxide H2O2 + alkali NaOH ho latela karolelano ea bophahamo ba 1:26 (tharollo ea 3%NaOH), e ka fokotsang ho hlaha ha bothata ka katleho. Molao-motheo oa eona o ts'oana le tharollo ea ho hloekisa ea SC1 (e tsejoang haholo e le mokelikeli 1) oa wafer ea silicon ea semiconductor. Mokhoa oa eona o ka sehloohong: filimi ea oxidation holim'a wafer ea silicon e etsoa ke oxidation ea H2O2, e bolailoeng ke NaOH, 'me oxidation le corrosion li etsahala khafetsa. Ka hona, likaroloana tse khomaretsoeng phofo ea silicon, resin, tšepe, jj.) le tsona li oela ka har'a mokelikeli oa ho hloekisa ka lera la corrosion; ka lebaka la oxidation ea H2O2, lintho tse phelang holim'a wafer lia bola ho ba CO2, H2O 'me lia tlosoa. Ts'ebetso ena ea ho hloekisa e 'nile ea etsoa ke bahlahisi ba silicon wafer ba sebelisang mokhoa ona ho sebetsana le ho hloekisa terata ea daemane e sehang monocrystalline silicon wafer, wafer ea silicon ka tlung le Taiwan le bahlahisi ba bang ba betri ba sebelisa litletlebo tsa bothata ba velvet white. Hape ho na le bahlahisi ba betri ba sebelisitseng mokhoa o tšoanang oa ho hloekisa oa velvet pele ho nako, hape ba laola ponahalo ea velvet white ka katleho. Ho ka bonoa hore mokhoa ona oa ho hloekisa o eketsoa ts'ebetsong ea ho hloekisa ea silicon wafer ho tlosa masala a silicon wafer e le ho rarolla bothata ba moriri o mosoeu qetellong ea betri ka katleho.

qeto

Hona jwale, ho seha terata ya taemane e se e le theknoloji e ka sehloohong ya ho sebetsana le taba ya ho seha kristale e le nngwe, empa nakong ya ho kgothaletsa bothata ba ho etsa velvet e tshweu ho bile le mathata ho bahlahisi ba silicon wafer le betri, e leng se ileng sa etsa hore bahlahisi ba betri ba sehe terata ya taemane, silicon wafer e na le kganyetso e itseng. Ka tlhahlobo ya papiso ya sebaka se sesweu, e bakwa haholo ke masalla hodima wafer ya silicon. E le ho thibela bothata ba wafer ya silicon ka seleng hamolemo, pampiri ena e sekaseka mehlodi e ka bang teng ya tshilafatso ya bokahodimo ba wafer ya silicon, hammoho le ditlhahiso tsa ntlafatso le mehato tlhahisong. Ho ya ka palo, sebaka le sebopeho sa matheba a masweu, lisosa di ka sekasekwa le ho ntlafatswa. Ho kgothaletswa haholoholo ho sebedisa hydrogen peroxide + mokgwa wa ho hlwekisa alkali. Phihlelo e atlehileng e pakile hore e ka thibela ka katleho bothata ba ho seha terata ya taemane wafer ya silicon e etsang velvet whitening, bakeng sa ho rekota ba kahare le bahlahisi ba indasteri ka kakaretso.